APPLICATION NOTE I(국문)

Overview SEM은 코팅된 층이나 금속 시료의 표면 정보를 얻는데 사용 될 수 있습니다. 이러한 경우 BSE 검출기를 통한 분석이 매우 유용합니다. Metal with Chemical Etching (금속의부식화처리) 아래의이미지는니켈과금으로코팅된구리입니다.니켈과구리는 가까운원소번호의금속이기에두금속의층간경계를구분하기가 어렵습니다.하지만전처리로부식화(산,염기를이용하여)처리후 측정하면오른쪽이미지와같이두개층을쉽게구분할수있습니다. 만약부식화처리를할수없다면,BSE모드를통해두개층을구별하여 확인할수있습니다. X5,000, 20kV X1,000, 5kV X5,000, 20kV X1,000, 30kV SE mode Low Voltage BSE mode High Voltage X10,000, 20kV Before After X10,000, 20kV 금속 표면 금속 시료는 도체이므로 추가적인 금속 코팅이 필요 없습니다. 만약 금속 표면의 단차가 크지 않다면 입자의 뚜렷한 구분은 어렵습니다. 시료가합금일경우, BSE모드를통해후방산란전자를검출하여 분석하면, 시료표면의원자번호에따른명암효과를극대화하여서로 다른 금속 원소에 대한 정보를 바로 얻을 수 있습니다. Back Scattered Electrons (BSE, 후방산란전자) BSE 검출기는 코셈의 제품에 손쉽게 장착할 수 있습니다. BSE 이미지는 SE 이미지만큼 활용도가 높고, 특히 원소번호 차이에 따른 고대비 이미지를 통해 표면정보 및 시료 내 원소구성을 확인 할 때 유용합니다. 예를 들어, 여러 물질로 혼합되어 있는 합금을 관찰할 때 더 확실한 정보의 이미지를 얻을 수 있습니다. 또한 BSE 이미지는 고 진공, 저 진공 모드 모두에서 활용 가능합니다. Poly Wire 이 시료는 부분적으로 구리와 탄소로 코팅된 폴리 와이어 시료 입니다. 탄소는 원소번호가 낮기 때문에 고 전압에서 측정 시 확인이 어렵습니다. 시료 표면의 다른 정보를 얻기 위해서는 하기 왼쪽의 이미지와 같이 가속전압을 낮추어 원소번호가 낮은 부분도 잘 보일 수 있도록 조정할 수 있습니다. Metals 20 WINDOW TO THE NANO WORLD with COXEM