APPLICATION NOTE II(국문)

WINDOWTO THE NANOWORLD with COXEM 평면(0°) 스테이지기울기(Tilt) 기능으로다각도에서 시료의이미지를얻을수있습니다. Analysis Solution for: 모든분야에서사용됩니다. 분석자는코셈의모든제품에서스테이지를 기울여시료를관찰할수있습니다. - EM-30 Series - CX-200Plus 7. Effect of Tilt Angle INTRODUCTION 분석자가 시료의 형상을 파악하지 못하고 시료를 평면만 분석할 경우 시료 형상에 대한 단편적인 정보만을 얻을 수 있습니다. 따라서, 평면측정과더불어스테이지를기울여(Tilt) 단면측정을함께진행하는것이효과적입니다. Benefits Availability Operation 분석자는 SE와 BSE 이미지에 적절한전자빔사이즈를선택하여 최상의 SE+BSE 합성이미지를 얻을수있습니다. 아래의 이미지는각검출기의데이터와 합성후의이미지를나타낸 것입니다. <태양광 전지> <실리콘 웨이퍼> <유리> <자동차와이퍼> BSE BSE BSE BSE 평면 (0°) 45° 기울기 평면(0°) 45° 기울기단면 90° 기울기단면 45° 기울기단면 90° 기울기단면 10