APPLICATION NOTE II(국문)

WINDOWTO THE NANOWORLD with COXEM SEM은가속된전자가매우빠른속도로주사되면서시료와충돌하여발생하는다양한신호를감지, 분석하여이미지를얻는 분석기기입니다. 이과정에서주사된과량의전자가시료에남아있게되면대전현상(Charging Effect)이나타나시료표면에 금속의도체박막코팅후측정을진행하는것이효과적입니다. 주사전자현미경으로금속시료의미세 구조를확인하기위해서는일련의 화학처리가필요합니다. 반도체칩의단면, 금속의결정립계 (Grain Boundary) 등과같이표면이 매끈하지않은시료의경우정확한 관찰이어렵습니다. 해당의시료는 연마과정을통해물리적인굴곡을 제거한후측정하는것이효과적입니다. 8. Effect of Sample Preparation INTRODUCTION 주사전자현미경은 투과전자현미경(TEM, Transmission Electron Microscope)에 비해 특별한 시편제작이 필요 없고, 시료 제약이적어활용도가높습니다. 하지만시료의전도성, 오염도유무를파악하여그에적합한전처리과정을거쳐야높은정확도의 고품질이미지를얻을수있습니다. 1) 코팅효과 2) 화학적 식각효과 (Etching) 3) 연마 (Polishing) <종이> <금속> 코팅전 식각처리전 Solder Ball Molding 코팅후 식각처리후 RockMolding Ion Sputter Coater (SPT-20) 12