APPLICATION NOTE II(국문)

www.coxem.com 정성, 정량분석을동시에, 그리고손쉽게할수있습니다. Analysis Solution for: - Material Industries - Chemistry Industries - Semiconductors and Electronics Industries - Sandstone Industries - Automotive Industries 시료를되도록평평하게제작하면정확한결과값을얻는데효과적입니다. 코셈의장비에추가적인설치가가능합니다. - EM-30 Series (Optional) - CX-200Plus (Optional) * EM-30AX는 EDS가 SEM에내장되어제공됩 니다. 13. Application of EDS - 시료의면, 점등분석자가원하는영역을지정하여분석이가능합니다. Benefits Availability 1) Point Analysis Operation < 시료 내 포인트를 지정하여 얻은 SEM이미지와 EDS 분석결과 > - Figure 3 X-Ray X- ra y EDS 전자빔에의한전자이탈 INTRODUCTION 전자현미경 분석 시 전자 빔에 의한 전자 이탈로 발생하는 특정의 X-Ray를 수집하여 에너지 분산 분광분석기(EDS, Energy Dispersive X-ray Spectroscope)를 통해 원소의 정량, 정성분석 결과를 동시에 얻을 수 있습니다. EDS로 시료의 구성 원소에 대한정성, 농도, 분포도를확인할수있습니다. 17

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