CP-8000P-국문

8 COXEM CP-8000+ Cross Section Polisher www.coxem.com 9 CRYSTALLOGRAPHY OF METALLIC MATERIAL 깔끔한표면전처리는정확한금속시료결정립과결정립계분석을위해매우중요한요소입니다. EBSD분석을통한시료의기계적, 전기적특성연구를위해시료표면에대한이온빔밀링이활용됩니다. Misorientation map Point group distribution Inverse pole figure IPF map Grain size distribution Kikuchi pattern of Copper Cu EPMA ANALYSIS OF CROSS-SECTION OF MINERAL 이온밀링으로시료단면의산화층및이물질제거후, 보다정확한정성, 정량분석을위한EPMA성분분석이가능합니다. 하기의시료는광물시료로, CP로식각하여표면의이물과산화층을제거한후EPMA분석을통해각성분의분포를확인할수있습니다. C K O Fe Al Si EDS 이온 빔으로 시료를 식각하여 단면 구조 손상을 최소화한 후 EDS로 성분분석을 하면, 시료의 구조적 왜곡 없이 표면 성분의 정확한 분포 를알수있습니다. Minerals MLCC (Multi layer ceramic capacitor)